X射線熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。就分類而言，偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF、波長色散型(WD-XRF)X射線熒光光譜儀與能量色散型(ED-XRF)X射線熒光光譜儀同屬于X射線熒光光譜儀，它們產生信號的方法相同，最后得到的波譜或能譜也極為相似，但由于色散、采集數(shù)據(jù)的方式不同，三種儀器在原理、儀器結構和功能上也有所不同。

　　X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成。其原理就是：X射線管通過產生入射X射線（一次X射線），來激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　X射線熒光光譜儀分析的四個優(yōu)勢：

　?。?）熒光分析的主要特點是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數(shù)量級。分光光度法通常在 10-7 級，而熒光的靈敏度達10-9。

　?。?）強選擇性強，熒光物質具有兩種特征光譜：激發(fā)光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來說，熒光光譜可根據(jù)激發(fā)光譜和發(fā)射光譜來鑒定物質。

　?。?）信息量豐富，能提供熒光物質的多種參數(shù)。

　?。?）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質本身不發(fā)熒光；②熒光的產生與化合物結構的關系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。